迪尔 , 格罗夫 , 氧化 迪尔格罗夫氧化模型(迪尔格罗夫模型将热氧化分为哪两个阶段) 电子元器件 / 2023-06-04 电子小二 迪尔格罗夫氧化模型本文内容来自于互联网，分享迪尔格罗夫氧化模型(迪尔格罗夫模型将热氧化分为哪两个阶段)迪尔格罗夫氧化模型Top迪尔格罗夫氧化模型硅在分子氧中的氧化按照全反应方程进行：Si(固体)+O2(气体)→SiO2此过程称为干氧氧化（dryoxidation），因为它用分子氧而不是水蒸气作氧化剂。在热氧化层大于300Å的情况下，用迪尔-格罗夫模型可很好的预测氧化层厚度。生长氧化 查看更多→
