扩散系统本文内容来自于互联网，分享扩散系统(图灵反应扩散系统)扩散系统Top扩散系统现在大部分器件的特征尺寸通常小于1μm。大部分掺杂是通过离子注入而不是预淀积扩散完成的。但是，当需要制作重掺杂的薄层时，有时会采用扩散炉管来掺入所需杂志。除了采用的受控气体是惰性气体如氮气或Ar而不是氧气外，这些扩散炉管和氧化炉管是一样的。在炉管中进行重掺杂有两种方式：固态源掺杂和液态源掺杂。大部分液态源杂志是
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