分类：

BEOL本文内容来自于互联网，分享BEOL(beol是什么意思)BEOL就是制程的后道，形成Device的链接组合并引出PAD对于beol(后线)的清洗，除了颗粒问题和金属离子的问题，通常的问题是阴离子、多晶硅栅的完整性、接触电阻、过孔的清洁程度、有机物

查看更多→