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微电子机械系统本文内容来自于互联网，分享微电子机械系统(微电子机械系统(MEMS))ME MS英文microelectromechanicalsystems的缩写，即微电子机械系统。MEMS是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术，使之对微米/纳米材料进行设计、加工、制造和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电

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